沉积方案 | 电化学沉积 (ECD) 面板

面板电镀 - Stratus™ P500

ECD 510 x 515 mm 面板加工

应用

• 可配置多达 5 种不同的电镀材料

• 多晶扇出

• SoC 封装

• MicroLED

特点

• 晶圆级精度硬件和软件

• Cu、Sn(Ag)、Ni 和 Au 电镀 @<10µm L/S

• 单面 / 双面电镀

• 膜电池提供高化学利用率

• 多区阳极，优化厚片和薄片的均匀性

• 带图案的屏蔽层可实现均匀的高通量电镀

材料

• 510×515 mm 面板, 定制

• 玻璃、复合材料、其他